Nan tout chèn endistri semi-conducteurs, pwosesis ak fabrikasyon se youn nan lyen ki pi enpòtan yo. Avèk tankou yon gwo mache, ekipman pwosesis semi-conducteurs bay baz fabrikasyon pou semi-conducteurs gwo-echèl fabrikasyon. Papye sa a pral konsantre sou sa ki ekipman prensipal la nan pwosesis pwodiksyon semi-conducteurs.
1, gwo founo dife kristal sèl
Fonksyon ekipman: fonn materyèl semi-conducteurs, rale yon sèl kristal, pou manifakti aparèy ki vin apre a, bay yon sèl kristal semi-conducteurs billet.
Gwo mak entènasyonal yo: PVA TePla AG (Almay), Ferrotec (Japon), QUANTUM DESIGN (USA), Gero (Germany), KAYEX (USA).
Gwo mak domestik: Beijing Jingyuntong, Seven Star Huaxuang, Beijing Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi' yon Teknoloji Jinko, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi' yon Huade, Enstiti a 48th nan Lachin Elektwonik Teknoloji Group, Shanghai Shenhe tèmik mayetik.
2. Faz gaz epitaxial gwo founo dife
Ekipman fonksyon: bay anviwònman pwosesis espesifik pou faz gaz kwasans epitaksyal, reyalize kwasans lan nan kristal kouch mens ak relasyon ki koresponn ak faz kristal sèl kristal sou kristal la sèl, ak fè preparasyon debaz pou realizasyon an fonksyonèl nan sèl kristal l ap desann. Faz gaz epitaksi se yon pwosesis espesyal nan depo vapè chimik, nan ki estrikti kristal nan kouch la kwasans mens se yon kontinyasyon nan substra a kristal sèl ak koresponn ak oryantasyon an kristal nan substra la.
Gwo mak entènasyonal: CVD Ekipman, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Materyèl aplike.
Gwo mak domestik: Lachin Elektwonik Teknoloji Group 48th Enstiti, kendao Cerida, Hefei Kojing Materyèl Teknoloji co, LTD., Beijing Jinsheng mikwo nano, Jinan Liguan elektwonik teknoloji co, LTD.
3. Sistèm epitaxy molekilè gwo bout bwa
Fonksyon Ekipman: sistèm epitaksi molekilè gwo bout bwa, bay ekipman pwosesis la yo grandi fim nan sou sifas anba a dapre espesifik la; Molekilè epitaxy gwo bout bwa (MBEA) se yon teknik pou prepare fim kristal sèl mens. Li se itilize yo grandi fim mens kouch pa kouch ansanm aks kristal nan substra a anba substrate ki apwopriye ak kondisyon apwopriye.
Gwo mak entènasyonal: Riber (Lafrans), Veeco (USA), DCA Enstriman (Fenlann), SVTAssociates (USA), NBM (USA), Omicron (Almay), MBE-Komponenten (Almay), Oxford aplike (UK) Rechèch (OAR) ) konpayi.
Gwo mak domestik: Shenyang Zhongke Enstriman ko., LTD., Beijing Huidexin Teknoloji co, LTD., Shaoxing Kuangtai Enstriman Ekipman co, LTD., Shenyang Keyou Vacuum Teknoloji co, LTD.
4. Oksidasyon gwo founo dife (VDF)
Fonksyon Ekipman: Pou tretman semi-conducteurs materyèl oksidasyon, bay atmosfè oksidasyon ki nesesè yo, reyalize konsepsyon an espere nan pwosesis tretman semi-conducteurs oksidasyon, se yon lyen endispansab nan pwosesis la pwosesis semi-conducteurs.
Gwo mak entènasyonal: UK Thermco Company, Almay Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG konpayi.
Gwo mak domestik: Beijing sèt zetwal Huaxuang, kendao Freunde, Lachin Elektwonik Teknoloji Group 48th enstiti, kendao Xuguang Enstriman Ekipman co, LTD., Lachin Elektwonik Teknoloji Gwoup 45th Enstiti.
5. Low presyon chimik sistèm depo vapè (LPCVD)
Fonksyon Ekipman: Vapè ki gen reyaksyon-ajan gaz oswa likid ki konstitye eleman fim nan ak lòt gaz ki nesesè pou reyaksyon yo prezante nan chanm reyaksyon ekipman LPCVD la, epi fim nan pwodwi pa reyaksyon chimik sou sifas substra a. .
Gwo mak entènasyonal: Hitachi International Electric Company,
Gwo mak domestik: Shanghai Chijian Semiconductor Teknoloji co, LTD., Lachin Elektwonik Teknoloji Group 48th Enstiti, Lachin Elektwonik Teknoloji Group 45th Enstiti, Beijing Enstriman faktori, Shanghai machin faktori.
6. Plasma Amelyore Sistèm Depozisyon Vapè Chimik (PECVD)
Fonksyon Ekipman: itilize egzeyat lumineux nan chanm depozisyon an, fè li ionize epi fè reyaksyon chimik sou substra a pou depoze semiconductor materyèl mens fim.
Gwo mak entènasyonal: Proto Flex (USA), Tokki (Japon), Shimadsu (Japon), Lam Rechèch (USA), ASM Entènasyonal (Netherlands).
Gwo mak domestik: Lachin Elektwonik Teknoloji Group 45th Enstiti, faktori Beijing Enstriman, faktori machin Shanghai.
7. Magnetron Sputtering Table (MSA)
Fonksyon Ekipman: atravè yon jaden mayetik fèmen paralèl ak sifas sib la nan sputtering bipolè a, ak jaden elektwomayetik ortogonal ki fòme sou sifas sib la, elèktron segondè a mare nan zòn espesifik sifas sib la, pou reyalize gwo dansite ion ak segondè. iyonizasyon enèji, ak atòm sib yo oswa molekil yo depoze sou substra a ak pousantaj segondè sputtering yo fòme yon fim.
Gwo mak entènasyonal: Konpayi PVD, Konpayi Vaportech, Konpayi AMAT, Konpayi Hauzer, Konpayi Teer, konpayi Platit, konpayi Balzers ak konpayi Cemecon.
Gwo mak domestik: Beijing Enstriman faktori, Shenyang Zhongke Enstriman ko., LTD., Chengdu Nanguang Endistriyèl co, LTD., Lachin Elektwonik Teknoloji Gwoup 48th Enstiti, Kerui Ekipman co, LTD., Shanghai machin faktori.
8. Chimik mekanik machin polisaj (CMP)
Fonksyon ekipman: nan mekanik fanm k'ap pile ak chimik likid yap divòse" korozyon" nan efè a konbine, yo dwe lapped (semi-conducteurs) polisaj.
Gwo mak entènasyonal: Aplike Materyèl, Norfa Sistèm, Rtec.
Gwo mak domestik: Lanzhou Lanxin gwo teknoloji endistri co, LTD., Alite mikwoelektronik.
9, machin litografi
Fonksyon aparèy: respire lakòl sou sifas la nan semi-conducteurs substra (Silisyòm wafer), transfere modèl la sou mask la fotoresist, ak tanporèman" kopi" aparèy la oswa estrikti sikwi nan plat la Silisyòm.
Gwo mak entènasyonal: ASML (Netherlands), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Gwo mak domestik: Lachin Elektwonik Teknoloji Group 48th Enstiti, Lachin Elektwonik Teknoloji Group 45th Enstiti, Shanghai machin faktori, Chengdu Nanguang Endistriyèl co, LTD.
10. Reactive Ion grave sistèm (RIE)
Fonksyon Ekipman: vòltaj la frekans segondè aplike ant elektwòd yo plak yo pwodwi ion kouch dè santèn de mikron epè, ak modèl la enpak segondè-vitès ion mete nan modèl la, reyalize reyaksyon chimik grave ak enpak fizik, ak reyalize pwosesis semi-conducteurs ak bòdi.
Gwo mak entènasyonal: Japon Evatech Konpayi, Etazini NANOMASTER konpayi an, Singapore REC Konpayi, Kore di sid JuSung konpayi, Kore di sid TES Konpayi.
Gwo mak domestik: Beijing Enstriman faktori, Beijing Qixing Huachuang Elektwonik co, LTD., Chengdu Nanguang Endistriyèl co, LTD., Lachin Elektwonik Teknoloji Group karant-wityèm Enstiti.
11. ICP plasma grave sistèm
Fonksyon ekipman: youn oswa plis atòm gaz oswa molekil melanje nan chanm reyaksyon an, anba aksyon enèji ekstèn (tankou frekans radyo, mikwo ond, elatriye) pou fòme yon plasma, sou yon bò, gwoup aktif nan plasma a ak materyèl la sifas yo dwe grave reyaksyon chimik, génération pwodwi temèt; Nan lòt men an, iyon yo nan plasma a yo gide ak akselere anba aksyon an nan presyon patipri reyalize direksyon korozyon ak akselere korozyon nan sifas la grave.
Gwo mak entènasyonal: Oxford Enstriman (UK), Torr (USA), Gatan (USA), Kolèj (UK), Leeman (USA), Pelco (USA).
Gwo mak domestik: Beijing Enstriman faktori, Beijing Qixing Huachuang Elektwonik co, Ltd, Lachin Elektwonik Teknoloji Group 48th Enstiti, Goder ion Teknoloji (Hong Kong) portefeuy co, Ltd, Enstiti pou mikwoelektronik, Akademi Chinwa nan Syans, Nò mikwoelektronik. , Beijing Oriental Jicheng co, Ltd, Beijing Trands Weina Teknoloji.
12, mouye grave ak netwaye machin
Fonksyon ekipman: grave mouye se materyèl la grave tranpe nan solisyon grave pou teknoloji korozyon. Netwayaj se diminye kontaminasyon, ki ka afekte pèfòmans aparèy, mennen nan pwoblèm fyab, epi redwi sede a, ki mande pou netwayaj konplè anvan chak kouch nan pwochen pwosesis la oswa anvan kouch nan pwochen an.
Gwo mak entènasyonal: ekran (Japon), SEMES (Kore di), Tokyo elektwon (Japon), Lam Rechèch (Amerik).
Gwo mak domestik: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.
13. Ion enplantasyon machin (IBI)
Fonksyon ekipman: dopan zòn nan tou pre sifas la nan semi-conducteurs la.
Gwo mak entènasyonal: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc ak Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc (akeri pa AMAT).
Gwo mak domestik: Beijing Enstriman faktori, Lachin Elektwonik Teknoloji Group 48th Enstiti, Chengdu Nanguang Endistriyèl co, LTD., Shenyang Fangji limyè endistri machin co, LTD., Shanghai Silisyòm Top mikwoelektronik co, LTD.
14, ban tès pwofonde
Fonksyon aparèy: Atravè kontak la pwofonde ak pad la nan aparèy la semi-conducteurs, se tès elektrik fè yo tcheke si endèks la pèfòmans nan semi-conducteurs a satisfè kondisyon yo ki pèfòmans konsepsyon.
Gwo mak entènasyonal: Almay konpayi Ingun, konpayi QA, konpayi MicroXact, konpayi Ecopia, konpayi Leeno.
Gwo mak domestik: Lachin Elektwonik Teknoloji Group 45th Enstiti, Beijing Qixing Huachuang Elektwonik co, LTD., Ruike Enstriman, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Teknoloji.
15. Wafer eklèsi machin
Fonksyon: redwi epesè nan plat pa polisaj.
Entènasyonal mak prensipal: Japon DISCO Konpayi, Almay G& N konpayi, Japon OKAMOTO konpayi, pèp Izrayèl la Camtek konpayi.
Gwo mak domestik: Lanzhou Lanxin gwo teknoloji endistri co, LTD., Shenzhen Fonda Manje Ekipman Faktori co, LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Manje machin Faktori co, LTD., Weianda Manje Ekipman co, LTD., Shenzhen Huannifeng Teknoloji co, LTD.
16. Wafer Scribing Machine (DS)
Fonksyon Aparèy: gofr la, koupe an ti moso Die.
Gwo mak entènasyonal: Almay OEG konpayi, Japon DISCO Konpayi.
Gwo mak Domestik: Lachin elektwonik teknoloji gwoup, Beijing kechuang pa kòmanse sous teknoloji photoelektrik ko., LTD., Shenyang enstiti nan teknoloji instrumentation, machin nan nòdwès ko., LTD., (709 faktori) gen faktori a machin nòdwès, hui sheng elektwonik machin elektwonik ak konpayi ekipman, lanzhou: lazè, yon gwo teknoloji endistri ko., LTD., Shenzhen ruby lazè ekipman ko., LTD., Wu Hansan travayè, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Teknoloji.
17. Fil Bonder
Fonksyon Aparèy: Konekte Pad la sou chip semi-conducteur a ak Pad la sou PIN la ak fil metal konduktif la (fil lò).
Gwo mak entènasyonal: Ameriken Ottey, Alman TPT, Otrich FK, Malezi UNISEM.
Gwo mak domestik: Lachin Elektwonik Teknoloji Group 45th Enstiti, Beijing Transhijie Teknoloji Devlopman co, LTD., Yuxin (Chengdu) entegre sikwi anbalaj ak tès co, LTD. (Malezi Yunisan Envestisman), Shenzhen Kaijiu Otomatik Ekipman co, LTD.