1. Depozisyon
Premye etap la nan fabrikasyon yon chip se nòmalman depoze yon fim mens nan materyèl sou plat la. Materyèl la ka yon kondiktè, yon izolan, oswa yon semi-conducteurs.
2, kouch photoresist
Anvan fotolitografi, materyèl la fotosansibl" fotoresist" oswa" photoresist" se premye kouvwi sou plat la, ak Lè sa a, plat la mete nan machin nan litografi.
3. Ekspozisyon
Fè modèl yo modèl ki bezwen enprime sou retikul la. Apre yo mete plat la nan machin nan litografi, se gwo bout bwa a limyè projetée sou plat la nan retikul la. Eleman yo optik nan machin nan litografi retresi epi konsantre modèl la sou kouch nan fotorezistans. Anba iradyasyon gwo bout bwa limyè a, fotoresist la sibi yon reyaksyon chimik, epi modèl la sou fotomask la konsa anprent sou kouch fotoresist la.
4. Litografi enfòmatik
Efè fizik ak chimik ki te pwodwi pandan fotolitografi ka lakòz deformation modèl, kidonk li nesesè pou ajiste modèl sou retikul la davans pou asire presizyon modèl fotolitografi final la. ASML entegre done litografi ki deja egziste ak done tès wafer yo kreye modèl algorithm ak jisteman ajiste modèl yo.
5. Boulanjri ak devlope
Apre wafer la kite machin nan litografi, li dwe kwit epi devlope fè modèl la litografi pou tout tan fiks yo. Lave fotorezist la depase, kite yon pati vid nan kouch la.
6, grave
Aprè devlopman an fini, sèvi ak gaz ak lòt materyèl pou retire pati vid ki depase yo pou fòme yon modèl sikwi 3D.
7, mezi ak enspeksyon
Pandan pwosesis pwodiksyon chip la, gato yo toujou mezire ak enspekte pou asire ke pa gen okenn erè. Rezilta enspeksyon yo manje tounen nan sistèm nan litografi plis optimize ak ajiste ekipman an.
8. Ion enplantasyon
Anvan ou retire fotoresist ki rete a, wafer la ka bonbade ak iyon pozitif oswa negatif pou ajiste karakteristik semi-conducteurs yon pati nan modèl la.
9. Repete etap pwosesis yo jan sa nesesè
Soti nan depozisyon fim nan retire fotoresist, pwosesis la an antye kouvri gato a ak yon modèl. Pou fòme yon sikwi entegre sou yon wafer pou konplete pwodiksyon chip, pwosesis sa a bezwen repete kontinyèlman, jiska 100 fwa.
10, pake chip
Dènye etap la se nan koupe plat la jwenn yon chip sèl, ki se pake nan yon ka pwoteksyon. Nan fason sa a, chip la fini ka itilize yo pwodwi televizyon, tablèt oswa lòt aparèy dijital!
Si ou enterese nan pwodwi nou yo, tanpri vizitewww.hkram.comgen plis enfòmasyon.